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Rubert 500シリーズ 高精度比較参照板 Precision reference specimens …表面粗さ測定機器の性能検査・校正用

準拠規格

 

特徴

高精度比較参照板(Precision Referece Specimens)は、表面測定機器の計量特性を検査し校正するために設計された見本板です。

サンプルは、ISO3274で規格化されているスタイラス(触針)タイプの接触型表面測定機器用に最も頻繁に使われます。しかし、最近では特に粗さ値の評価をおこなう、光学および非接触型機器を検査する際にも多く使われるようになりました。

現在のところ、触針式機器(stylus instruments)用の参照サンプルは、ISO5436-1で規格化されています。このISOの規格文中では、タイプAサンプルは段差(step-height)基準として、タイプBは触針のサイズを検査するものとして、タイプCとタイプDはそれぞれ機器の性能検査およびパラメーター評価用の規則的および不規則的な(profile)表面を有する参照見本として位置づけられています。

すべての高精度参照サンプルは、電鋳法によりニッケル製でつくられています。さらに参照サンプルは2種類に分けられます。1つはニッケルホウ素製の表面層で硬く保護されているものです(この場合は商品コード番号の最後に「E」を付けてください)。もう1つは、この表面保護層がない一般的なものです。例えば、KB-RS542EとはサンプルKB-RS542で硬い表面保護層付であるものです。

この保護層のあるものは、保護層のないニッケル素材と比較して、わずかに変色したり黒ずむ場合があります。この変色は、外観的には薄いかすかな黒い斑点もしくは線として生じることがありますが、これは純粋に見かけ上のことで、サンプルの粗さ値に影響を与えるものではありません。

ISO
タイプ
パラメーター 粗さ 形状 断面形状 商品コード
No.
D Ra = 0.02 µm
= 0.8 µ in
8 x 0.4 mm
ランダム
KB-RS501
D Ra = 0.03 µm
= 1.2 µ in
4 x 1.25 mm
ランダム
KB-RS502
D Ra = 0.1 µm
= 4 µ in
4 x 1.25 mm
ランダム
KB-RS503
D Ra = 0.15 µm
= 6 µ in
4 x 1.25 mm
ランダム
KB-RS504
A d = 1 µm
w = 100 µm
1本の溝
single groove
KB-RS511
A d = 1000, 500, 200, 30 µm
w = 3, 2, 2, 0.5 mm
4本の溝
four grooves
KB-RS513
A d = 100 nm と 500 nm 2本の溝
two grooves
KB-RS514
B RSm = 15 µm
Pt = 1.6 µm
Ra = 0.4 µm
= 15 µ in
鋸刃状
sawtooth wave
KB-RS521
C RSm = 135 µm
Pt = 19 µm
Ra = 6.25 µm
= 250 µ in
正弦波形状
sine wave
KB-RS525
C RSm = 100 µm
Pt = 10 µm
Ra = 3.15 µm
= 124 µ in
正弦波形状
sine wave
KB-RS526
C RSm = 100 µm
Pt = 10 µm
Ra = 3.0 µm
= 120 µ in
正弦波形状
sine wave
KB-RS527
C RSm = 50 µm
Pt = 1.5 µm
Ra = 0.5 µm
= 20 µ in
正弦波形状
sine wave
KB-RS528
C RSm = 10 µm
Pt = 0.3 µm
Ra = 0.1 µm
= 4 µ in
正弦波形状
sine wave
KB-RS529
C RSm = 100 µm
Pt = 3.0 µm
Ra = 1 µm
= 40 µ in
正弦波形状
sine wave
KB-RS530
C RSm = 100 µm
Pt = 1.0 µm
Ra = 0.3 µm
= 14 µ in
正弦波形状
sine wave
KB-RS531
B, C RSm = 8 µm
Pt = 0.2 µm
Ra = 0.06 µm
= 2.36 µ in
正弦波形状
sine wave
KB-RS542
B, C RSm = 2.5 µm
Pt = 0.12 µm
Ra = 0.04 µm
= 1.58 µ in
正弦波形状
sine wave
KB-RS543
B, C 1枚の板の上に KB-RS528 と KB-RS529 の順番で2片が形成されています   KB-RS589
B, C 1枚の板の上に KB-RS526 と KB-RS521 の順番で2片が形成されています   KB-RS552
B, C 1枚の板の上に KB-RS526, KB-RS529, KB-521 の順番で3片が形成されています   KB-RS553
RSm = 25 µm
Pt = 1.6 µm
ピラミッド状の切頭体
pyramidal frustum
KB-RS561
RSm = 80 µm
Pt = 7.1 µm
ピラミッド状の切頭体
pyramidal frustum
KB-RS562
RSm = 250 µm
Pt = 20.25 µm
ピラミッド状の切頭体
pyramidal frustum
KB-RS564
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